深圳特種氣體-安徽譜純 安全可靠-特種氣體生產(chǎn)廠家：

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特種氣體的用途

1、氣體產(chǎn)品質(zhì)量控制。氣體分析儀器用標準氣為定量標準保證測量結(jié)果的準確性，從而控制氣體產(chǎn)品質(zhì)量符合國家或行業(yè)標準

2、報警儀器的檢定與校準。

3、大氣環(huán)境污染監(jiān)測。定期校準用于環(huán)境監(jiān)測的各類儀器儀表。

4、醫(yī)1療衛(wèi)生及臨床化驗。如血液氣體分析、肺功能測定、細菌培養(yǎng)、呼吸代謝測定、放1射性示蹤器、外1科激光手續(xù)、孕婦分娩等。。

5、建筑家居環(huán)境監(jiān)測。校準用于檢測室內(nèi)建筑裝飾裝修材料中的有害物質(zhì)，如甲1醛、氨等的儀器設(shè)備。

特種氣體系統(tǒng)：

主管路系統(tǒng)的設(shè)計

對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），深圳特種氣體，需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精1確控制流量，特種氣體廠家，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質(zhì)量流量計，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇1毒、高反應(yīng)性和自燃氣體，特種氣體供應(yīng)商，應(yīng)使用雙套管輸送。同時管道的設(shè)計要采用零死區(qū)設(shè)計，即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，工業(yè)特種氣體廠家，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。后管道還要有良好的接地。

特種氣體的分類

近年來我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對氣體的使用要求極高，所以我們特將這個領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導(dǎo)體發(fā)光二極管（LED）、液晶面板、光纖、IC、半導(dǎo)體分立器件、線路板等高精尖行業(yè)。主要包括：

1、硅族氣體：含硅基的硅i烷類。

2、摻雜氣體：含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。

3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主。

4、反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主。

5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬。

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